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2025-11-12 3 光刻机
我国最先进的光刻机上市公司大盘点
随着全球半导体产业的快速发展,光刻机作为芯片制造的核心设备之一,其技术水平和生产能力成为了衡量一个国家半导体产业竞争力的重要标准,在我国,一批优秀的企业正致力于光刻机的自主研发与生产,推动着我国半导体产业的自主创新和技术进步,我们就来盘点一下我国最先进的光刻机上市公司,看看哪些企业在这场高科技竞赛中走在了前列。
作为国内光刻机领域的领军企业,上海微电子装备股份有限公司在极紫外(EUV)光刻机的研发上取得了显著进展,虽然与国际顶尖水平相比仍有差距,但SMEE的90nm节点光刻机已成功实现量产,标志着我国在高端光刻机领域迈出了坚实的一步,公司还在不断加大研发投入,力求在未来几年内突破更先进的技术壁垒。
华卓精科是一家专注于超精密测控装备及光刻机双工件台系统研发生产的高新技术企业,其产品广泛应用于集成电路制造、先进封装、科研生产等领域,华卓精科的双工件台系统是光刻机的关键部件之一,对于提高光刻精度和效率具有重要意义,该公司已成功打破国际垄断,实现了光刻机双工件台系统的国产化替代。

国科精密则以其在光学镜头领域的深厚积累为依托,向光刻机市场发起冲击,公司凭借先进的光学设计和制造技术,成功开发出适用于不同制程节点的光刻机镜头产品,这些镜头不仅满足了国内市场的需求,还出口到海外多个国家,赢得了广泛的市场认可。
芯源微是我国少数掌握化学机械研磨(CMP)技术的公司之一,这项技术是制造高端芯片不可或缺的环节,通过不断的技术创新和市场拓展,芯源微已成为全球领先的CMP设备供应商之一,尽管其主要业务并非直接涉及光刻机整机制造,但其在相关领域的深耕细作无疑为我国光刻机产业的发展提供了有力支持。
我国在光刻机领域已经涌现出了一批具有较强竞争力的企业,从整机制造到关键零部件供应,这些公司都在各自的领域内取得了令人瞩目的成绩。
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